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Whitepaper: MEMS – der Weg zu besseren Sensoren und vernetzten Messdaten

MEMS-Geräte erobern derzeit die Märkte und finden in zahlreichen Branchen Anwendung – von der Automobilindustrie und Verbraucherelektronik über die Fabrikautomatisierung bis hin zur Medizintechnik. Ihre Fähigkeiten gehen weit über jene herkömmlicher elektromechanischer Bauelemente hinaus, dabei stehen sie für zuverlässigen Betrieb und ausgezeichnete Leistung bei kompakten Formfaktoren und attraktiven Preisen. MEMS-Sensoren bieten außerdem den Vorteil, dass erforderliche Signalkonditionierungs- und Schnittstellenschaltungen direkt integriert werden können (sie werden auf einem gemeinsamen Siliziumsubstrat untergebracht).

Dieser Aspekt könnte künftig einen weiteren wichtigen Vorteil nach sich ziehen, denn er ebnet den Weg zur Sensorfusion – das heißt, Daten aus unterschiedlichen Sensoren können verknüpft werden, um für mehr Präzision zu sorgen und langfristig zuverlässigen Betrieb zu fördern. Im folgenden Artikel werden die künftigen Möglichkeiten der MEMS-basierten Sensorfusion beleuchtet und exemplarisch aufgezeigt, in welchen Bereichen dieses Konzept bereits Anwendung findet. 

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